设备型号:GPV-HP-WSG08
设备简介:该设备可实现单晶硅片的的无损切割,兼容性强、效率高、切割质量好,稳定可靠。
设备优势与特点:
1、两边料措施灵活性,使用花蓝或料盒。2、主体组成骨架为钢组成建筑手工焊接组成,更加坚固安全,服务运营顺畅。3、特别制造无痕吸盘。4、双轨独力控住。5、方式可存储两组方法,撤换区别物料可怏速更换。6、应用程序可设立具PIN码维护的多方面操作的权限设置。7、自主学习AI百度算法变现PL与红外隐裂测量。8、搭载MES指导。技术参数:
序号 | 设备规格 | 标准值 |
---|---|---|
1 | 设备型号 | GPV-HP-WSG08 |
2 | 产能 | 6500PCS/H |
3 | 综合破片率 | ≤0.2% |
4 | 硅片适用类型 | 单晶硅片 |
5 | 硅片适用尺寸 | G12,公差±0.25mm |
6 | 硅片厚度 | 100-130um,±10um |
7 | 切片规格 | 标配 1/2片 |
8 | 直线度 | ±0.075mm |
9 | 大小片 | ±0.075mm |
10 | 切片方式 | 激光无损切割,有水 |
11 | 头尾开槽长度 | ≤1.5mm±0.2mm |
12 | 头尾开槽宽度 | ≤100μm±10μm |
13 | 头尾开槽深度 | ≤厚度的40% (可调) |
14 | 热影响区域 | 无(头尾开槽除外) |
15 | 划痕控制 | 无传输过程引起的划痕、破损、污染 |
16 | 检测模块 | PL(必选)、红外隐裂(必选)、大小片(必选)、电阻率/厚度(可选)、少子(可选) |
17 | MES接口 | 有,支持设备数据输出给中央控制主机 |
18 | 使用环境温度 | 25℃±10℃ |
19 | 压缩空气 | 0.5MPa-0.8MPa |
20 | 电源 | AC 380V 50/60Hz 三相五线制 |
21 | 耗电量 | 峰值:55KW ,平均:33KW |
22 | 设备重量 | 10000KG |
23 | 设备尺寸 | 12900mm×2485mm×2275mm |