硅片划切一体机

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硅片划切一体机

设备型号:GPV-HP-WSG08
设备简介:该设备可实现单晶硅片的的无损切割,兼容性强、效率高、切割质量好,稳定可靠。

设备优势与特点:

1、两边料措施灵活性,使用花蓝或料盒。2、主体组成骨架为钢组成建筑手工焊接组成,更加坚固安全,服务运营顺畅。3、特别制造无痕吸盘。4、双轨独力控住。5、方式可存储两组方法,撤换区别物料可怏速更换。6、应用程序可设立具PIN码维护的多方面操作的权限设置。7、自主学习AI百度算法变现PL与红外隐裂测量。8、搭载MES指导。


技术参数:

序号设备规格标准值
1设备型号GPV-HP-WSG08
2产能6500PCS/H
3综合破片率≤0.2%
4硅片适用类型单晶硅片
5硅片适用尺寸G12,公差±0.25mm
6硅片厚度100-130um,±10um
7切片规格标配 1/2片
8直线度±0.075mm
9大小片±0.075mm
10切片方式激光无损切割,有水
11头尾开槽长度≤1.5mm±0.2mm
12头尾开槽宽度≤100μm±10μm
13头尾开槽深度≤厚度的40% (可调)
14热影响区域无(头尾开槽除外)
15划痕控制无传输过程引起的划痕、破损、污染
16检测模块PL(必选)、红外隐裂(必选)、大小片(必选)、电阻率/厚度(可选)、少子(可选)
17MES接口有,支持设备数据输出给中央控制主机
18使用环境温度25℃±10℃
19压缩空气0.5MPa-0.8MPa
20电源AC 380V 50/60Hz 三相五线制
21耗电量峰值:55KW ,平均:33KW
22设备重量10000KG
23设备尺寸12900mm×2485mm×2275mm


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